行业背景：

目前芯片蚀刻是我国半导体行业关键技术之一，芯片蚀刻主要是利用化学反应来蚀刻掉芯片表面不需要的部分，以实现芯片电路的制造。以常见的干法等离子体蚀刻为例，主要是使用了具有等离子放电特性的电子特气，但是这些电子特气一般都是属于对人体有毒有害的气体，浓度过高时极易危害人体健康。

那么芯片蚀刻工艺危险有害气体有哪些呢?一般而言，主要包括氯化氢HCL、氟化氢HF、溴化氢HBr等，而在现场安装使用芯片厂蚀刻区有害气体检测仪就是为了对这些气体进行监测，以免发生危险。

芯片干法等离子蚀刻工艺危险有毒气体主要有以下几种：

1.氯化氢HCL

氯化氢是无色有刺激性气味的气体，分子式为HCL，一般为盐酸挥发的蒸气，属于对人体有毒有害的气体。氯化氢对人体的影响分为急性中毒和慢性损害。急性中毒多见于意外事故中，主要表现为头痛、头昏、恶心、咽痛、眼痛、咳嗽、声音嘶哑、呼吸困难、胸痛、胸闷，有的有咯血。严重者可引起化学性肺炎、肺水肿、肺不张等病症。长期在超过 15mg/m3 度的环境下操作，会造成牙酸蚀症、慢性支气管炎等慢性病变。

2.溴化氢HBr

溴化氢在常温常压状态下是无色有刺激性气味的气体，分子式为HBr，具有非常强的吸湿性，接触空气即产生无色透明至淡黄色烟雾，生成强腐蚀性的氢溴酸，属于对人体有毒有害的气体，职业接触限值MAC为10mg/m3。溴化氢可引起皮肤、粘膜的刺激或灼伤。长期低浓度接触可引起呼吸道刺激症状和消化功能障碍。

3.氟化氢HF

氟化氢在常温常压状态下是无色有刺激性气味的气体，分子式为HF，具有非常强的吸湿性，接触空气即产生白色烟雾，生成强腐蚀性的氢氟酸，属于对人体有毒有害的气体。氟化氢对皮肤、黏膜有腐蚀刺激作用，其慢性影响有嗅觉减退、上呼吸道慢性炎症等，长期低浓度接触氟化氢气体可引起干燥性或萎缩性鼻炎、咽炎和慢性支气管炎，长期接触无机氟化物，常见有眼、上呼吸道、皮肤出现刺激症状和慢性炎症,神经衰弱综合症。

半导体行业有毒气体仪检测仪解决方案：

在整个芯片干法等离子蚀刻工艺过程中却存在着包括氯化氢HCL、氟化氢HF、溴化氢HBr等在内的危险有害气体，为了防止这些芯片干法等离子蚀刻气体泄漏造成危险事故，需要在现场布设固定式有毒气体检测仪来实现24小时不间断连续实时在线监测这些芯片干法等离子蚀刻气体的浓度值，当检测气体超标，则会报警自动联锁风机电磁阀启停，排除险情。

布设方案说明：

1.SGA-501固定式有毒气体检测仪单机使用

传统大多数固定式有毒气体检测仪都具备声光报警功能，可以在每个芯片生产车间现场环境布设独立气体监测点，不过注意单机仪器需要搭配一个电源适配器应用;这是目前常规最为常见的一种检测方式。

固定式有毒气体检测仪建议用户一般选配带无线传输功能，可以通过GPRS方式连接物联网平台，绑定PC端或者手机端，即可实时查看，分析或导出监测数据;或者用户可通过物联网平台接收短信、微信、邮箱、语音等方式接收报警信息，提醒相关人员进行相应措施处理。

如有多种气体检测需求，推荐可以选用SGA-504系列固定四合一有毒气体检测仪，该款产品同时检测氯化氢HCL、氟化氢HF、溴化氢HBr、溴气等多种有毒气体的浓度值，气体超标声光报警，内置继电器，可自动联动控制排气风机的启停。SGA-504系列固定四合一有毒有害气体检测仪配备工业级铝合金防护外壳，坚固耐用;2.4英寸超大屏幕，完美显示目标气体、浓度、单位、指示灯工作状态等各项参数;中英文、繁体，操作界面，适合所有人群;国外原装进口传感器，具备精度高、稳定性强、误差率低等特点;支持多种信号传输，兼容90%以上厂家的气体报警控制器、PLC、DCS、DDC等上位机系统。

2.固定式有毒气体检测仪搭配报警主机应用

固定式有毒气体检测仪安装布设总线制RS485或者4-20mA分线制监测系统，气体报警主机用途是可以用于连接多个气体检测仪器，方便统一查看监测数据。目前虽然气体检测仪也可以独立安装，但是如果定点探测器安装太多，是非常不便于管理。另外，你可以通过信号传输线连接所有的气体检测仪到控制报警主机，并将主机安装在监视室，如果检测气体浓度异常，控制器主机也会发出报警,联动电阀或排气扇、喷雾系统等外围设备。值班室工作人员也可以通过控制器准确地找到泄漏点的位置，并及时处理现场问题。