硅烷是硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更好的硅氢化合物，目前应用比较多的是甲硅烷，一般把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上仅有的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

硅烷的危害性：

1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道;

2.硅烷会刺激呼吸系统及粘膜，过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因;

3.暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤;

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