六氟化硫是无色无臭气体，已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。1947年提供商用。当前SF₆气体主要用于电力工业中。SF₆气体用于4种类型的电气设备作为绝缘和/或灭弧；SF₆断路器及GIS（在这里指六氟化硫封闭式组合电器，国际上称为“气体绝缘开关设备”（Gas Insulated Switchgear)）、SF₆负荷开关设备，SF₆绝缘输电管线，SF₆变压器及SF₆绝缘变电站。80%用于高中压电力设备。